HORIBA 堀場 流量控制器 SEC-Z714SMG *10

新型壓力補償質(zhì)量流量控制器

SEC-Z700S 系列配備了新開發(fā)的熱傳感器和壓力補償功能，可實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復(fù)雜性。

新功能簡化了供氣系統(tǒng)。典型的多腔室氣體管線具有管線調(diào)節(jié)器、壓力傳感器和過濾器，以避免由壓力波動引起的質(zhì)量流量控制器串擾現(xiàn)象。

SEC-Z700S 系列可以不受上流和下流壓力的影響，提供穩(wěn)定的流量控制。提供流量輸出、溫度和壓力讀數(shù)。

基本特征

多氣體/多量程功能，客戶可以更改氣體類型和滿量程流量

穩(wěn)定控制氣流，不受上流和下流壓力波動的影響

集成多重顯示

超潔凈設(shè)計：金屬隔膜，全不銹鋼 SUS-316L 和拋光表面處理（標準）

尺寸緊湊，50 SLM 以內(nèi)采用相同的安裝尺寸

信號兼容：支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通訊模式

主要特征

確保 1% 設(shè)定點精度（流量≥5%）

高重復(fù)性（≤±0.15% 設(shè)定點/流量≥5%）

范圍控制廣（0.5-100% 滿量程）

可調(diào)響應(yīng)（300ms≤t≤1000ms）

高操作溫度（15-60℃）

低閥座泄漏（≤0.1% 滿量程/#01-#06）

高耐腐蝕性設(shè)計

HORIBA 堀場 流量控制器 SEC-Z714SMG *10

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